光线温度传感器Luxtron Luxtron m920-深圳市香蕉视频软件APP下载电源技术有限公司

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光线温度传感器Luxtron

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产品名称: 光线温度传感器Luxtron
产品型号: Luxtron m920
产品展商: Advanced Energy
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简单介绍

用于 OEM -100ºC 至 330ºC 的光纤温度传感系统 Advanced Energy 的 Luxtron 四通道 m924 和双通道 m922 半导体模块经过精心设计,可对蚀刻器和静电吸盘、腔室和其他设备等晶圆制造设备进行温度监测。 混合和匹配组件 可使用当前半导体 Luxtron 品牌 Fluoroptic 探头和光纤延长线 内置校准表可匹配定制 AE 探头,实现高精度测量 *大可实现精度为 ±0.05°C(视探头而定)


光线温度传感器Luxtron  的详细介绍

完整的 Luxtron® m920 系列 OEM 解决方案采用电子模块组件制造,配备两个主板和探头。主板包含光纤温度传感通道、数字输出(RS232 ASCII 和 RS485 Modbus)和电源连接。模拟输出板安装在主板上方,提供 0 至 10 V 或 4 至 20 mA 输出。还可以选择金属外壳。

m920 系列系统采用 Fluoroptic® 技术。m920 系列主板可对来自 Fluoroptic 探头的测量信号进行调制,然后将校准的温度报告给 OEM 控制系统。

优点

  • 为不同的蚀刻和晶圆制造过程实现高精度和高温范围
  • 以快速采样率监测更快的斜坡条件
  • 使用这种低噪声解决方案获得更**的温度测量结果
  • 充分利用产品的出色可靠性,降低故障率
  • 获得支持 在全球范围内支持定制集成和探头设计
 

特点

  • 双通道或四通道,借助 RS485 Modbus 可扩展至多达 64 通道
  • 单 PCB 设计,具有模拟输出和金属外壳等选项
  • 高电压、射频、等离子体和微波等不会对探头产生电磁干扰
  • 可向后兼容 Advanced Energy 弹簧加载和 Accudisc 探头
  • 可为半导体应用提供定制探头
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